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标签 > 标签文章：#传感# (共有1文章)

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    上海微系统所实现片上亚纳米量级的超灵敏位移传感

    IT之家7月6日消息据中国科学院网站，近日，中国科学院上海微系统所等合作在硅衬底上提出了基于布洛赫表面光场的非对称传输特性实现超灵敏位移测量的方法，并实现了亚纳米级的位移传感。光学手段为精密位移测量提供了非接触的方案，可实现高灵敏度、高分辨率的位移检测，在纳米尺度位移传感、半导体技术及量子技术等领域具有重要应用。据介绍，该研究基于硅基衬底，利用不对称狭缝形成纳米天线调控布洛赫表面波，实现了布洛赫表

     323    0    2021-07-06 13:24

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