标签文章：#刻蚀机#
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北方华创正式发布 CCP 介质刻蚀机，实现刻蚀工艺全覆盖
感谢IT之家网友刺客的线索投递！IT之家8月15日消息，据北方华创官方宣布，今天，北方华创正式发布CCP介质刻蚀机，目前已在5家客户完成验证并实现量产。此前北方华创已推出ICP刻蚀机、金属刻蚀机等，实现刻蚀工艺全覆盖。北方华创NMC508 RIE 介质刻蚀机采用 8吋设备二十年工艺基础；专为8吋工艺设计的腔室与硬件，满足定制化需求；6&8吋兼容，可实现快速切换
阅读更多Echo 2022.08.15 12:25 336浏览 0回复
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中微公司 5nm 刻蚀机拟下半年发运台积电美国工厂
据上观新闻报道，由中微半导体设备（上海）股份有限公司制造的刻蚀机，将于今年下半年运往台积电美国工厂，用于5nm工艺芯片生产。报道显示，位于金桥综保区的中微公司在本轮上海疫情期间坚持闭环生产，公司经营不断取得新突破，在闭环生产中，公司原材料进口需求也得到浦东海关大力协助，海关方面指导中微公司通过“单一窗口”“互联网+海关”等渠道在线办理申报，并通过在口岸实行外观查验后即刻放行，货物在企业洁净室符合条
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清华大学等离子体刻蚀机采购项目公开招标，预算 165 万元
IT之家3月29日消息，3月29日，清华大学发布了等离子体刻蚀机采购项目公开招标公告。该公告显示，清华大学现对等离子体刻蚀机采购项目进行国内公开招标，欲采购1套等离子体刻蚀机，采购预算为165万元。设备用途介绍：该等离子体刻蚀机用于刻蚀薄膜铌酸锂晶圆，从而加工基于薄膜铌酸锂晶圆的电光器件。简要技术指标：真空系统：★分子泵抽速≥1300L/s，干泵抽速≥100m3/h；下电极：★满足8英寸样品刻蚀需
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中微公司首台 8 英寸 CCP 刻蚀机 Primo AD-RIE 200 顺利付运
IT之家6月15日消息今天，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）首台8英寸甚高频去耦合反应离子（CCP）刻蚀设备PrimoAD-RIE200顺利付运客户生产线。IT之家获悉，PrimoAD-RIE200是中微公司自主研发的新一代8英寸甚高频去耦合反应离子（CCP）刻蚀设备。基于已被业界广泛认可的12英寸CCP刻蚀设备的成熟工艺与特性，PrimoAD-RIE200在技术创新和生产效
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北方华创刻蚀机 1000 腔顺利交付：12 英寸已实现客户端 28nm 国产化替代
IT之家12月11日消息据北方华创官方发布， 12月1日，北方华创lCP刻蚀机1000腔交付仪式在亦庄基地隆重举行。IT之家获悉，北方华创公司于2001年成立，开始组建团队钻研刻蚀技术，2004年首台设备实现成功起辉，2005年第一台8英寸ICP刻蚀机在客户端上线，并于2007年获得国家科学技术进步二等奖。在集成电路领域获得突破的同时，北方华创在积极将刻蚀技术横向拓展，目前应用领域已覆盖
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北方华创正式推出 NMC612G 12 英寸金属刻蚀机
IT之家6月29日消息 在2020年SEMICONCHINA展览会上，北方华创正式发布了NMC612G12英寸金属刻蚀机。官方介绍，该设备具有优秀的刻蚀均匀性调节能力与良好的颗粒管控能力，可满足集成电路、功率半导体、硅基微显示等领域的金属刻蚀需求。NMC612G12英寸金属刻蚀机是电感耦合高密度等离子体干法刻蚀机，具有多种均匀性控制手段，如电流分布控制技术、气体比例控制技术、静电卡盘温控
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中微公司：公司正在开发新一代的刻蚀机，
IT之家4月17日消息据证券时报e公司报道，中微公司今天举行2019年度业绩说明会。中微公司董事长、总经理尹志尧称：公司2019年度毛利率34.93%，较上年度减少0.57个百分点，但情况基本稳定。等离子刻蚀设备和MOCVD设备服务于不同的市场，中微刻蚀设备的毛利率已达到国际同行的水平。在今后的几年中，中微会不断地开发新一代的刻蚀设备和MOCVD设备，服务于更高端市场，期望得到更高的毛利率。中微公......
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大国重器之国产刻蚀机：中国芯片燎原火
在此前IT之家《兵进光刻机，中国芯片血勇突围战》一文中，有网友表示除了光刻机，对刻蚀机也比较感兴趣。今天汐元就和大家讲一讲刻蚀机的那些事吧。在开始之前先统一一下名称，“刻蚀机”和“蚀刻机”都是正确的叫法。国内两家重要的厂家中微半导体和北方华创用的都是“刻蚀机”，本文也统一使用“刻蚀机”。一、刻蚀机是用来做什么的刻蚀机，顾名思义，对应的是芯片制造中的“刻蚀”这一步。在芯片制造中，“光刻”和“刻蚀”是......
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连中大单！中微半导体将为长江存储制造9台刻蚀机设备
1月11日消息，近日，中微半导体宣布开年大单，公司获得长江存储9台刻蚀设备的订单。而在不久前的2019年第四季度，中微才刚刚宣布获得长江存储的3台设备订单，截至目前共占据长江存储介质设备总采购量的1/3。公司接连的中标喜讯刺激着二级市场的股价。1月2日中国国际招标网公布相关招标结果，公司股价涨至103.96元/股，涨幅高达12.39%；1月8日中标消息传开，股价已经冲上113.75元/股，涨幅为1......
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